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分选机

设备性能介绍

1.采用PLC运动控制以及工控机数据控制

2.对接清洗下料机联动使用

3.多视觉检测系统,对厚度/电阻率,线痕模块,边宽尺寸模块,隐裂/穿孔模块,表面污迹,崩边检测

4.厚度模块线激光左右两侧距边0-45mm可调节,前后测试开始、结束位置可以设置硅片实际0mm以上

5.相机配置:前后崩边12K以上,左右崩边4K以上,污片8K以上,面崩8K以上,隐裂4K以上,倒角500万以上,尺寸1200万以上

6.设备产能WPH≥7200(210*210mm规格)

7.可检测硅片厚度:110-240μm范围

8.兼容硅片规格:157*157—230*230mm单多晶硅片调整功能

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